超精密空氣主軸(以下簡稱主軸)可用作超精密加工機(jī)床或高精度計量儀器的主軸系統(tǒng)。主軸采用先進(jìn)的氣體靜壓技術(shù)，徑向軸承和雙向止推軸承的各工作面均為靜壓氣浮面，且經(jīng)過嚴(yán)格的動平衡，因而實現(xiàn)了非接觸的高精度回轉(zhuǎn)，具有無振動、低噪音的特點。

由于氣膜對軸系零件加工誤差的平均作用，因而軸系裝配后的回轉(zhuǎn)精度可以高于零件精度。對主軸主要技術(shù)指標(biāo)——主軸徑向回轉(zhuǎn)精度要求達(dá)到小于0.1μm。這樣高精度的指標(biāo)，即使加工出來了，也難以測量出它的精度，因而給測量帶來了極大的困難。通過幾年的摸索、研究，終于用雙向轉(zhuǎn)位法測出了主軸徑向回轉(zhuǎn)精度(0.07μm)。現(xiàn)將測量方法介紹給讀者。

1　檢測

1.1　檢測條件

環(huán)境溫度：20±1℃　每小時變化：<0.1℃

相對濕度：30%～60%

被測主軸在恒溫室內(nèi)定溫時間不少于24h;

被測主軸與標(biāo)準(zhǔn)器具的溫差不大于0.2℃;

被測主軸需安置在隔振基礎(chǔ)上，周圍無劇烈振動和沖擊;供氣壓力穩(wěn)定在0.4±0.02MPaq

1.2　檢測用儀器和器具

①　TESA電感測微儀(瑞士)(分辨率0.01μm)，